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技術文章

T-DALSA|短波紅外,不止于科研

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短波紅外,不再止于科研

幾十年來,*都意識到了SWIR的好處,特別是在科研、、等領域對短波紅外相機的應用可以說是遍地開花。如今,工業領域也開始嘗到了短波紅外的好處,工業檢測對于短波紅外的應用也越來越多。

半導體檢測

半導體工業涵蓋各種各樣的應用,從PC到移動設備的處理器和存儲器,從集成電路到太陽能電池。現如今,半導體行業離不開硅片,而硅片材料中導體Si材料的特性是:反射可見光,透過紅外光。因此人眼或可見光芯片,只能接收材料表面的反射光,無法對材料內部缺陷進行檢測。而短波紅外相機則可以彌補可見光的不足,做Si材料的內部缺陷檢測

例如:我們在晶圓背面貼上一張印有圖案的紙張,當我們用可見光相機拍攝時,由于只能接收材料表面的反射光,我們并不能得到晶圓背面圖案的任何信息,而當我們使用短波紅外相機拍攝后,晶圓背面的圖案便可以清晰的呈現在我們眼前

 

▲印有圖案的紙張位于晶圓的背面

 

▲使用短波紅外相機拍攝晶圓背面,圖案十分清晰

因此,在半導體工業中,短波紅外工業相機可以用來檢測純半導體材料的質量。此外,切割成晶片的硅錠和晶片成品,也可以通過短波紅外相機來檢測缺陷或裂紋,然后將晶片加工成光電子元器件或其他半導體器件。在后切割晶圓成為單芯片的加工過程中,對于鋸片和激光校準來說,短波紅外相機依舊是目前應用的主流方案。為了進行失效分析,裝配好的集成電路進行裂紋或光刻檢測,整個生產流程中都需要進行檢測,而在這些應用中,都少不了短波紅外相機的身影。

食品分選

同樣,短波紅外相機也可應用在食品分選領域,在可見光拍攝的食品圖片中,肉桂、咖啡豆、巖石與葡萄干顏色相近,但在短波紅外相機拍攝的圖片中它們卻因為各自水分含量的不同在圖片中體現了*不一樣的灰度值

 

▲左圖為短波紅外相機拍攝的圖片,右圖為可見光相機拍攝的圖片,通過圖片對比,我們可知短波紅外相機更適用于食品分選。

 

T-DALSA:出爐,短波紅外工業相機

既然短波紅外相機在工業領域的應用可以如此之廣,Teledyne DALSA作為機器視覺*羊,*打造了Linea SWIR短波紅外GigE線掃描相機,該系列相機采用緊湊型封裝的InGaAs傳感器,并具有高靈敏度低噪聲,Linea SWIR系列相機既可以提供具有12.5μm高響應性的1k分辨率相機,也可以具有更大25μm像素的512分辨率相機,兩款相機行頻皆為40kHz,同時相機支持cycling mode、可編程I/O、PoE供電、準確時間協議(PTP)等多種功能,適用于多種機器視覺應用。

 

▲Linea SWIR系列短波紅外相機

與所有Linea系列線掃描相機一樣,Linea SWIR具有可靠的構建質量和功能,Linea SWIR具有使您的機器視覺工作更輕松的功能,包括高速,高靈敏度,循環模式和可編程I / O。多功能的Linea SWIR是光學分選,太陽能電池板檢測以及通用機器視覺等應用的理想選擇。

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